একটি বোরোসিলিকেট ওয়েফার এবং একটি নীলকান্তমণি ওয়েফার একই 100 মিমি ব্যাস এবং 1.0 মিমি পুরুত্ব ভাগ করে নিতে পারে, তবুও একটির দাম অন্যটির একটি ভগ্নাংশের জন্য এবং একটি খুব ভিন্ন কাজের অবস্থার জন্য বেঁচে থাকে। সেই ফাঁকটি হল যেখানে বেশিরভাগ ওয়েফার ক্রয় ভুল করা হয়। অনুশীলনে, সঠিক অপটিক্যাল ওয়েফারটি এই ক্রমে নেওয়া তিনটি সিদ্ধান্তে নেমে আসে: এর সংক্রমণ, কঠোরতা এবং তাপীয় আচরণের জন্য উপাদান নির্বাচন করুন; সমতলতা এবং পৃষ্ঠ-গুণমান পরিসংখ্যান সংজ্ঞায়িত করুন ডাউনস্ট্রিম প্রক্রিয়া আসলে সহ্য করতে পারে; এবং পরিদর্শন ডেটা প্রয়োজন যা চালানের আগে উভয়ই প্রমাণ করে। নীচের বিভাগগুলি প্রতিটি সিদ্ধান্তের মাধ্যমে কাজ করে।
একটি অপটিক্যাল ওয়েফার কি?
একটি অপটিক্যাল ওয়েফার হল অপটিক্যাল-গ্রেড উপাদানের একটি পাতলা চাকতি, সাধারণত কাচ, ফিউজড কোয়ার্টজ বা একক-ক্রিস্টাল নীলকান্তমণি, যা পুরুত্ব, সমতলতা এবং পৃষ্ঠের গুণমানে শক্ত সহনশীলতার জন্য উত্পাদিত হয়। একটি সমাপ্ত অপটিক্যাল উইন্ডোর বিপরীতে, যা সরাসরি একটি বীম পাথে ইনস্টল করা হয়, একটি ওয়েফার সাধারণত একটি সাবস্ট্রেট হয়: একটি প্রারম্ভিক পৃষ্ঠ যা ডাউনস্ট্রিম প্রক্রিয়াকরণের সময় লেপা, প্যাটার্নযুক্ত, বন্ধন বা ডাইস করা হবে।
স্ট্যান্ডার্ড ব্যাস 25.4 মিমি (1 ইঞ্চি) থেকে 300 মিমি পর্যন্ত চলে, যার পুরুত্ব সাধারণত 0.5 এবং 1.1 মিমি হয়, যদিও শিল্প অপটিক্সে কাস্টম আকারগুলি নিয়মিত। পাঁচটি পরামিতি একটি ব্যবহারযোগ্য ওয়েফারকে প্রত্যাখ্যান করা থেকে আলাদা করে:
- মোট পুরুত্বের বৈচিত্র্য (টিটিভি): পালিশ করা পৃষ্ঠ জুড়ে সবচেয়ে পুরু এবং পাতলা বিন্দুর মধ্যে পার্থক্য।
- নম এবং ওয়ার্প: ফ্ল্যাট থেকে ওয়েফার মিড-প্লেনের বিচ্যুতি, সাধারণত গ্রাইন্ডিং বা ল্যাপিংয়ের ফলে অবশিষ্ট চাপের কারণে ঘটে।
- পৃষ্ঠের গুণমান: স্ক্র্যাচ-ডিগ গ্রেড যেমন 40-20 বা 20-10 প্রতি MIL-PRF-13830, যা অনুমোদিত স্ক্র্যাচ এবং খনন সীমাবদ্ধ করে।
- পৃষ্ঠের রুক্ষতা: পালিশ করা ওয়েফার সাধারণত 1 এনএম এর নিচে Ra তে পৌঁছায় এবং ডাবল সাইড পলিশড স্টক 0.5 এনএম এর নিচে।
- প্রান্তের অবস্থা: চেম্ফার জ্যামিতি এবং চিপ সীমা, যা হ্যান্ডলিং এবং ডাইসিংয়ের সময় ভাঙ্গনের হার চালায়।
গ্লাস, কোয়ার্টজ বা নীলা: ওয়েফার উপাদান নির্বাচন করা
অন্য যেকোনো ওয়েফার সিদ্ধান্তের চেয়ে উপাদান পছন্দ খরচ এবং কর্মক্ষমতাকে প্রাধান্য দেয়। নীচের সারণীটি সম্পত্তির রেঞ্জগুলির তুলনা করে যা নির্বাচনকে চালিত করে এবং এর পরে নোটগুলি ব্যাখ্যা করে যে প্রতিটি উপাদান তার স্থান কোথায় অর্জন করে।
| সম্পত্তি | বোরোসিলিকেট গ্লাস | ফিউজড কোয়ার্টজ | স্যাফায়ার (একক ক্রিস্টাল) |
|---|---|---|---|
| ব্যবহারযোগ্য ট্রান্সমিশন পরিসীমা | ~350 nm থেকে 2.5 μm | ~180 nm থেকে 3.5 μm, শক্তিশালী UV ট্রান্সমিশন সহ | ~150 nm থেকে 5.5 μm, মধ্য-ইনফ্রারেডের মাধ্যমে UV ঢেকে রাখে |
| কঠোরতা (Mohs) | ~5.5 | ~5.5 থেকে 6.5 | 9, হীরা ছাড়া যেকোন সাধারণ অপটিক্যাল উপাদানের চেয়ে কঠিন |
| তাপীয় সম্প্রসারণ | ~3.3 পিপিএম/কে | ~0.5 পিপিএম/কে, খুব কম | ~5.3 থেকে 8 পিপিএম/কে, দিকনির্ভর |
| তাপ পরিবাহিতা | ~1 W/m·K | ~1.4 W/m·K | ~25 থেকে 40 W/m·K, চমৎকার তাপ ছড়ানো |
| আপেক্ষিক খরচ | কম | পরিমিত | উচ্চ |
| সাধারণ ওয়েফার অ্যাপ্লিকেশন | MEMS বন্ডিং সাবস্ট্রেট, ক্যারিয়ার, ডিসপ্লে অপটিক্স | ফটোমাস্ক ফাঁকা, UV অপটিক্স, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া প্লেট | GaN LED এপিটাক্সি, IR উইন্ডো, কঠোর-পরিবেশ সেন্সর |
যখন পছন্দ দুটি সবচেয়ে ঘন ঘন তুলনা করা বিকল্পের মধ্যে সংকুচিত হয়, তখন সিদ্ধান্তটি সাধারণত মূল্যের চেয়ে UV ট্রান্সমিশন এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা চালু করে। আমরা আমাদের তুলনা বিস্তারিতভাবে যে জোড়া কভার কোয়ার্টজ বনাম গ্লাস অপটিক্যাল ওয়েফার .
গ্লাস ওয়েফার্স: বন্ডিং এবং ক্যারিয়ারের জন্য ওয়ার্কহরস
গ্লাস ওয়েফার, সাধারণত বোরোসিলিকেট বা অনুরূপ অপটিক্যাল চশমা, সবচেয়ে সাশ্রয়ী বিকল্প যেখানে চরম সংক্রমণ বা কঠোরতার প্রয়োজন হয় না। তাদের তাপীয় প্রসারণ অ্যানোডিক বন্ধনের জন্য সিলিকনের যথেষ্ট কাছাকাছি বসে, যা তাদের MEMS চাপ সেন্সর এবং এনক্যাপসুলেটেড ডিভাইসের জন্য স্ট্যান্ডার্ড সাবস্ট্রেট করে। তারা পাতলা-ডিভাইস পরিচালনার সময় ক্যারিয়ার ওয়েফার হিসাবে এবং প্যাটার্নযুক্ত অপটিক্সের বেস সাবস্ট্রেট হিসাবেও কাজ করে। সীমাগুলি বাস্তব: ফিউজড কোয়ার্টজের তুলনায় দুর্বল অতিবেগুনী সংক্রমণ, নিম্ন তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং একটি পৃষ্ঠ যা বারবার হ্যান্ডলিং চক্রের মাধ্যমে আরও সহজে স্ক্র্যাচ করে।
কোয়ার্টজ ওয়েফারস: কম সম্প্রসারণ এবং গভীর-UV কর্মক্ষমতা
ফিউজড কোয়ার্টজ ওয়েফারগুলি খুব কম তাপীয় সম্প্রসারণ করে, মোটামুটি 0.5 পিপিএম/কে, যা অতিবেগুনী গভীরে শক্তিশালী সংক্রমণ সহ বেশিরভাগ চশমার নীচে মাত্রার একটি ক্রম। এই সংমিশ্রণটি ফটোমাস্ক ফাঁকা, UV অপটিক্যাল সাবস্ট্রেট এবং সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ভিতরে প্রসেস প্লেট হিসাবে তাদের ভূমিকা ব্যাখ্যা করে। একটি ক্রয়ের ফাঁদ মনোযোগের দাবি রাখে: "কোয়ার্টজ" এর অর্থ হতে পারে নিরাকার ফিউজড কোয়ার্টজ বা পাইজোইলেকট্রিক ক্রিস্টালাইন কোয়ার্টজ, এবং দুটির মূল্য, মেশিনযোগ্যতা এবং প্রয়োগে যথেষ্ট পার্থক্য রয়েছে। উদ্ধৃতি অনুরোধ করার আগে প্রক্রিয়াটির আসলে কোনটি প্রয়োজন তা নিশ্চিত করুন।
ফিউজড কোয়ার্টজ Wafers with Low Expansion and UV Transmission ফিউজড কোয়ার্টজ ওয়েফারগুলি অতিবেগুনী গভীরে শক্তিশালী সংক্রমণের সাথে 0.5 পিপিএম/কে তাপীয় সম্প্রসারণকে একত্রিত করে। ফটোমাস্ক ব্ল্যাঙ্ক, ইউভি অপটিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্ট প্রসেস প্লেটের জন্য এগুলি দেখার যোগ্য, যদি প্রসেসটি স্ফটিক কোয়ার্টজের চেয়ে নিরাকার প্রয়োজন। পণ্য দেখুন → স্যাফায়ার ওয়েফারস: কঠোরতা এবং কঠোর পরিবেশ
সিঙ্গল-ক্রিস্টাল স্যাফায়ারের দাম প্রতি ওয়েফার এবং মেশিনে গ্লাস বা কোয়ার্টজের চেয়ে অনেক বেশি ধীরে ধীরে, কিন্তু সাধারণ অপটিক্যাল ব্যবহারে অন্য কিছুই 9-Mohs কঠোরতা, মোটামুটি 150 nm থেকে 5.5 μm পর্যন্ত বর্ণালী কভারেজ এবং উচ্চ তাপ পরিবাহিতাকে একত্রিত করে না। এটি গ্যালিয়াম নাইট্রাইড এলইডি এপিটাক্সির জন্য ডিফল্ট সাবস্ট্রেট, মধ্য-ইনফ্রারেড উইন্ডো এবং সেন্সরগুলির জন্য একটি আদর্শ পছন্দ যা ঘর্ষণ বা উচ্চ তাপমাত্রার সংস্পর্শে আসে এবং স্বয়ংচালিত অপটিক্সে ক্রমবর্ধমান সাধারণ। যেহেতু নীলকান্তমণি বৈশিষ্ট্য ক্রিস্টালোগ্রাফিক ওরিয়েন্টেশনের উপর নির্ভর করে, কাটটি, সি-প্লেন, আর-প্লেন, বা অন্য প্লেন, অঙ্কনে স্পষ্টভাবে উল্লেখ করতে হবে।
LED Epitaxy এবং কঠোর অপটিক্যাল ব্যবহারের জন্য Sapphire Wafers একক-ক্রিস্টাল নীলকান্তমণি 9-Mohs কঠোরতা, মোটামুটি 150 nm থেকে 5.5 μm পর্যন্ত সংক্রমণ এবং উচ্চ তাপ পরিবাহিতা প্রদান করে। এই পণ্যটি GaN LED এপিটাক্সি, মধ্য-ইনফ্রারেড উইন্ডো, এবং ক্রিস্টাল প্লেন নির্দিষ্ট করে ঘর্ষণ বা উচ্চ তাপমাত্রার সম্মুখীন সেন্সরগুলির জন্য বিবেচনা করার মতো। পণ্য দেখুন → একটি উদ্ধৃতি অনুরোধ করার আগে লক ডাউন স্পেসিফিকেশন
বেশীরভাগ ওয়েফার প্রত্যাখ্যানগুলি নির্দিষ্টকরণের দিকে ফিরে আসে যা কখনও বলা হয়নি, উত্পাদন ব্যর্থতার জন্য নয়। উদ্ধৃতির জন্য অনুরোধ পাঠানোর আগে নীচের প্রতিটি আইটেমের উপর একটি নম্বর রাখুন:
- সহনশীলতা সহ ব্যাস এবং বেধ, উদাহরণস্বরূপ 100 মিমি ±0.1 মিমি ব্যাস এবং 1.0 মিমি ±0.05 মিমি পুরুত্ব, "নামমাত্র 100 মিমি" এর পরিবর্তে।
- প্রয়োগের সাথে মিলে যাওয়া সমতলতার সীমা: লিথোগ্রাফি সাবস্ট্রেটের জন্য স্পষ্ট অ্যাপারচার জুড়ে কয়েক মাইক্রনের নীচে মোট বেধের তারতম্যের প্রয়োজন হতে পারে, যখন সাধারণ অপটিক্যাল ব্যবহার শিথিল মান সহ্য করে।
- সারফেস কোয়ালিটি স্ক্র্যাচ-ডিগ হিসাবে প্রকাশ করা হয়, সাধারণত 40-20 সাধারণ ব্যবহারের জন্য এবং 20-10 যেখানে বিক্ষিপ্ত আলো গুরুত্বপূর্ণ।
- পলিশিং ফরম্যাট, সিঙ্গেল সাইড বা ডাবল সাইড, যেহেতু ওয়েফার যখন অপটিক্যাল পাথ বা একটি নির্ভুল চকিং অপারেশন ফিড করে তখন উভয় পৃষ্ঠই গুরুত্বপূর্ণ।
- নীলকান্তমণির জন্য স্ফটিক অভিযোজন বা স্ফটিক কোয়ার্টজের জন্য কাট টাইপ, অনুমান না করে অঙ্কনে দেখানো হয়েছে।
- পরিষ্কার করা, প্যাকেজিং এবং ডকুমেন্টেশনের প্রয়োজনীয়তা, প্রতিটি লটে ইন্টারফেরোমিটার ফ্ল্যাটনেস ম্যাপ এবং সামঞ্জস্যের একটি শংসাপত্র প্রয়োজন কিনা।
কিভাবে সমতলতা অর্জন করা হয় এবং উৎপাদনে যাচাই করা হয়
একটি ওয়েফারের সমতলতা একটি নির্দিষ্ট অনুক্রমের মাধ্যমে তৈরি করা হয়: ফাঁকা করা, প্রায় চূড়ান্ত বেধে গ্রাইন্ড করা, পৃষ্ঠের ক্ষতি অপসারণের জন্য ল্যাপিং, তারপর পলিশিং, একক-পাশ বা ডাবল-সাইড, পৃষ্ঠকে স্পেসিফিকেশনে আনতে। প্রতিটি পর্যায়কে অবশ্যই তার আগে থাকা ক্ষতিটি মুছে ফেলতে হবে এবং চূড়ান্ত পরিদর্শনে একটি ধাপে তাড়াহুড়ো করা স্ক্র্যাচ বা অবশিষ্ট চাপ হিসাবে প্রদর্শিত হবে।
যাচাইকরণ প্রক্রিয়াকরণের মতোই গুরুত্বপূর্ণ। টিটিভি, বো, এবং ওয়ার্প সাধারণত অ-যোগাযোগ অপটিক্যাল স্ক্যানিংয়ের মাধ্যমে পরিমাপ করা হয়, যখন পৃষ্ঠের চিত্র একটি নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যে ইন্টারফেরোমেট্রি দ্বারা নিশ্চিত করা হয়। একটি অ্যাপারচার এবং একটি তরঙ্গদৈর্ঘ্য ছাড়া উদ্ধৃত একটি সমতলতা চিত্র, যেমন "λ/10 ফ্ল্যাট" কোন শর্ত ছাড়াই, অন্য সরবরাহকারীর সংখ্যার সাথে তুলনা করা যায় না, তাই উভয়ই অঙ্কনে রাখুন।
যেখানে অপটিক্যাল ওয়েফার ব্যবহার করা হয়
ওয়েফার-ভিত্তিক অপটিক্স একা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের চেয়ে অনেক বেশি শিল্পে উপস্থিত হয়:
- সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন: ফটোমাস্ক সাবস্ট্রেট, পরিদর্শন অপটিক্স এবং পাতলা ডিভাইসগুলি পরিচালনার জন্য ক্যারিয়ার ওয়েফার।
- ইমেজিং সিস্টেমে অপটিক্যাল সেন্সর: ওয়েফার-লেভেল প্রসেসিং সেন্সর উইন্ডো, ফিল্টার এবং মাইক্রোলেনস সাবস্ট্রেটগুলি সামঞ্জস্যপূর্ণ পৃষ্ঠের গুণমানের সাথে ব্যাচে তৈরি করে।
- MEMS ডিভাইস: গ্লাস ওয়েফারগুলি অ্যানোডিক্যালি সিলিকনের সাথে বন্ধন করে প্রেসার সেন্সর, মাইক্রোফোন এবং রেজোনেটর তৈরি করে।
- আল্ট্রাভায়োলেট এবং ইনফ্রারেড সিস্টেম: ফিউজড কোয়ার্টজ গভীর-ইউভি লিথোগ্রাফি এবং স্পেকট্রোস্কোপি পরিবেশন করে, যখন নীলকান্তমণি মধ্য-আইআর জানালা এবং উচ্চ-তাপমাত্রা সেন্সিং কভার করে।
- স্বয়ংচালিত এবং LiDAR: মাত্রাগতভাবে স্থিতিশীল, বিকিরণকারী এবং রিসিভার অপটিক্সের জন্য শক্ত সাবস্ট্রেট যা অবশ্যই কম্পন এবং তাপমাত্রার পরিবর্তন থেকে বাঁচতে হবে।
সাধারণ সংগ্রহের ঝুঁকি এবং কীভাবে সেগুলি এড়ানো যায়
ওয়েফার সোর্সিংয়ের বেশিরভাগ সমস্যার জন্য চারটি সমস্যা দায়ী:
- অস্পষ্ট সমতলতা কলআউট। প্রতিটি সমতলতার চিত্রের একটি অ্যাপারচার, একটি তরঙ্গদৈর্ঘ্য এবং অঙ্কনের উপর লেখা একটি পরিমাপ পদ্ধতি প্রয়োজন।
- উপাদান ভুল লেবেলিং. নিশ্চিত করুন যে "কোয়ার্টজ" মানে মিশ্রিত নিরাকার উপাদান বা স্ফটিক স্টক, এবং একটি "গ্লাস" ওয়েফার বোরোসিলিকেট, অ্যালুমিনোসিলিকেট বা অন্য একটি রচনা কিনা, কারণ প্রতিটি সম্প্রসারণ এবং সংক্রমণে আলাদা।
- বন্ডড অ্যাসেম্বলিতে তাপ সম্প্রসারণের অমিল। সিলিকনের সাথে সংযুক্ত একটি গ্লাস ওয়েফার অবশ্যই প্রসারণের সামঞ্জস্যের জন্য বা তাপ সাইক্লিংয়ের সময় বন্ড ফাটলের জন্য বেছে নিতে হবে।
- অনুপস্থিত পরিদর্শন তথ্য. ইন্টারফেরোমিটার ম্যাপ বা কনফরমেন্সের শংসাপত্র ছাড়া, পৃষ্ঠের সমস্যাগুলি কেবল ডাউনস্ট্রিম প্রক্রিয়াকরণের পরে দেখা দেয়, যখন একটি প্রত্যাখ্যান করা ওয়েফারের সবচেয়ে বেশি খরচ হয়।
একটি অপটিক্যাল ওয়েফার প্রস্তুতকারকের সাথে কাজ করা
সরবরাহকারীদের মূল্যায়নকারী ক্রেতাদের একটি সংক্ষিপ্ত চেকলিস্টের প্রয়োজন: তিনটি ওয়েফার উপাদানের প্রমাণিত প্রক্রিয়াকরণ, সমতলতা-নিয়ন্ত্রণ ক্ষমতা প্রদর্শন করা এবং স্বীকৃত মানগুলিতে নিরীক্ষিত একটি গুণমান সিস্টেম। Changzhou Haolilai Photo-Electricity Scientific and Technical Co., Ltd. (HLL) 1998 সাল থেকে Changzhou এর জাতীয় হাই-টেক জোনে একটি 35,000-বর্গ-মিটার সুবিধা থেকে নির্ভুল অপটিক্যাল উপাদান তৈরি করেছে, 300 টিরও বেশি লোককে নিয়োগ করেছে এবং 20 টিরও বেশি দেশে রপ্তানি করছে৷ কোম্পানির কাছে ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, এবং IATF 16949 সার্টিফিকেশন রয়েছে, যার মধ্যে শেষটি স্বয়ংচালিত সাপ্লাই চেইন কাজকে সমর্থন করে এবং একটি প্রাদেশিক নির্ভুল অপটিক্যাল ইঞ্জিনিয়ারিং সেন্টার পরিচালনা করে যা কাস্টম ওয়েফার এবং সাবস্ট্রেট প্রকল্পগুলিকে সমর্থন করে৷
সেমিকন্ডাক্টর, স্বয়ংচালিত এবং লেজার অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে ওয়েফারের প্রয়োজনীয়তা ব্যাপকভাবে পরিবর্তিত হয়, তাই সঠিক মূল্য নির্ধারণের দ্রুততম রুট হল একটি অঙ্কন যা উপরে তালিকাভুক্ত বৈশিষ্ট্যগুলি বহন করে। এইচএলএল-এর ইঞ্জিনিয়ারিং দল কাস্টম প্রয়োজনীয়তা পর্যালোচনা করে এবং উপযোগী অপটিক্যাল সমাধান প্রদান করে এবং উদ্ধৃতি বা প্রযুক্তিগত প্রশ্নের জন্য অনুরোধ পাঠানো যেতে পারে যোগাযোগ পৃষ্ঠা .
সংক্ষিপ্ত সংস্করণ: এর অপটিক্যাল এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্যগুলির জন্য উপাদান বাছাই করুন, সংখ্যা এবং পরিমাপের শর্তগুলির সাথে সমতলতা এবং পৃষ্ঠের গুণমান নির্দিষ্ট করুন এবং বিতরণের সাথে পরিদর্শন ডেটার চাহিদা করুন৷ যে সকল ক্রেতারা সেই ক্রম অনুসরণ করে তারা ওয়েফার সোর্সিং-এ সবচেয়ে ব্যয়বহুল ব্যর্থতার মোডগুলি এড়িয়ে যায় এবং কম পুনরাবৃত্তি চক্রের মধ্যে উদ্ধৃতি থেকে যোগ্য অংশগুলিতে চলে যায়৷











苏公网安备 32041102000130 号